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MEMS器件冷熱沖擊試驗(yàn)

作者：網(wǎng)絡(luò) 編輯：瑞凱儀器來(lái)源：網(wǎng)絡(luò) 發(fā)布日期： 2020.09.02

1、目的

本試驗(yàn)的目的是確定MEMS器件在遭到溫度劇變時(shí)的抵抗能力，以及溫度劇變產(chǎn)生的作用。

2、設(shè)備

所用的冷熱沖擊試驗(yàn)箱在加載負(fù)荷時(shí)，應(yīng)能為工作區(qū)提供并控制規(guī)定的溫度。熱容量和液體流量必須能使工作區(qū)和負(fù)載滿足規(guī)定的試驗(yàn)條件和計(jì)時(shí)要求。在試驗(yàn)期間用指示儀或記錄儀顯示監(jiān)視傳感器的讀數(shù)，來(lái)連續(xù)監(jiān)視壞情況負(fù)載溫度。按驗(yàn)證冷熱沖擊試驗(yàn)箱工作特性的要求，驗(yàn)證負(fù)載條件和配置下的壞情況負(fù)載溫度。用于條件B和C的過(guò)碳氟化合物應(yīng)滿足表1的規(guī)定。

3、程序

    樣品應(yīng)放于冷熱沖擊試驗(yàn)箱中的合適位置，使液體在樣品周?chē)牧鲃?dòng)不應(yīng)受到阻礙，然后根據(jù)表2的規(guī)定，使負(fù)載進(jìn)行條件B或其他規(guī)定的試驗(yàn)條件進(jìn)行15次循環(huán)。在完成規(guī)定試驗(yàn)總循環(huán)數(shù)期間，為了進(jìn)行器件批的加載或去載，或由于電源或設(shè)備故障，允許中斷試驗(yàn)。然而，對(duì)任何給定的試驗(yàn)，若中斷次數(shù)超過(guò)規(guī)定循環(huán)總次數(shù)的10%時(shí)，試驗(yàn)必須重新從頭開(kāi)始。
    3.1 計(jì)時(shí)
    從熱到冷或從冷到熱的總轉(zhuǎn)換時(shí)間不得超過(guò)10s。當(dāng)壞情況負(fù)載溫度達(dá)到表2規(guī)定的極，值范圍內(nèi)時(shí)，可以轉(zhuǎn)換負(fù)載。負(fù)載應(yīng)在5min內(nèi)達(dá)到規(guī)定的溫度，但停留時(shí)間不得少于2min。
    3.2 檢驗(yàn)
    后一次循環(huán)完成之后，不放大或放大不超過(guò)3倍對(duì)樣品標(biāo)志進(jìn)行外觀檢驗(yàn)，放大20~50倍對(duì)外殼、引線或封口進(jìn)行目檢(當(dāng)本試驗(yàn)用于100% 的篩選時(shí)至少應(yīng)放大1.5倍進(jìn)行檢驗(yàn))。本項(xiàng)檢驗(yàn)和任何補(bǔ)充規(guī)定的測(cè)量及檢驗(yàn)，都應(yīng)在后一次循環(huán)完成之后進(jìn)行，如果某試驗(yàn)組、步或分組包括本試驗(yàn)，則在該試驗(yàn)組、步或分組完成之后進(jìn)行。
    3.3失效判據(jù)

試驗(yàn)后，任何規(guī)定的終點(diǎn)測(cè)量或檢驗(yàn)不合格，外殼、引線或封口的缺陷或損壞跡象，或標(biāo)志模糊，均應(yīng)視為失效。試驗(yàn)期間由于夾具或操作不當(dāng)造成標(biāo)志損壞，不應(yīng)影響器件的接收。