微電子器件老化篩選測試流程
作者：
salmon范
編輯：
瑞凱儀器
來源：
m.lagrangecompost.com
發布日期： 2020.12.01
1、流程
艦船通用微電子器件的老化篩選項月，一般都與個或多個故障模代有關。所以其老化篩選的順序大有講究，本文推薦的艦船通用微電子器件老化篩選順序（流程）是：
常溫初測、低溫測試、高溫測試、高低溫沖擊動態老化/高溫存儲檢漏常溫終測這里的/是條件或。即如果已做動態老化，高溫存儲可省：如果由于條件限制做不了動態老化，那么可用高溫存儲作補償性篩選。
2、技術條件和方法
2.1常溫初/終測
2.1.1條件
檢測的環境溫度：23℃±2℃
確保被檢器件在檢測的環境溫度下已保持30min。
2.1.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統上，按器件數據手冊的技術要求檢測器件是否滿足規定的各項指標要求。一般，這些測試系統需要經過認可/計確認，測試軟件經過認可/計量確認。
2.2低溫測試
2.2.1條件
檢測的環境溫度：工作Tmin ±3℃
確保被檢器件在檢測的環境溫度下已保持120min。
2.2.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統上，按器件數據于冊的技術要求檢測器件是否滿足規定的各項指標要求。一般，這些測試系統需要經過認可/計量確認，測試軟件經過認可/計量確認。
2.3高溫測試
2.3.1條件
檢測的環境溫度：工作Tmax±3℃
確保被檢器件在檢測的環境溫度下已保持120min。
2.3.2方法
在有能力檢測被測器件的測試系統上，按器件數據手冊的技術要求檢測器件是否滿足規定的務項指標要求。一般，這些測試系統蓿要經過認可/計量確認，測試軟件經過認可/計量確認。
2.4高低溫沖擊
2.4.1條件
沖擊低溫：存儲/工作 Tmin ±3℃
沖擊高溫：存儲/工作 Tmax
±3℃
沖擊保持時間：30min。
沖擊交替時問：<3min。
沖擊交替次數：5次。
2.4.2方法
2.4.2.1 .二箱法
本方法使用兩箱式冷熱沖擊試驗箱完成試驗。從常溫開始，將非工作狀態的器件放入低溫箱，使其達到存儲/工作Tmin±3℃，保持30min,取出被試件在常溫下放置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmax±3℃的高溫箱，保持30min。取出被試件在常溫下放置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmin±3℃的，低溫箱，保持30min
...，如此循環重復5次。剔除外觀受損部分。一般，這些試驗設備也需要經過認可/計量確認。
2.4.2.2一箱法
在三箱式（換氣式）冷熱沖擊試驗箱上完成，將試驗箱的二個試區溫度分別置為：存儲/工作Tmin±3℃和存儲/工作Tmax±℃，并設置它相關的試驗參數和上作參數。將受試作放入低溫區開始試驗。應確保試驗從低溫開始并能白動切換5個循環。一般，這些試驗設備也需要經過認可/計量確認。
2.5動態老化3.5.1條件
老化的環境溫度：工作Tmax±3℃
老化時間：48h/96h。
2.5.2方法
在步入式高溫老化房上完成，按器件數據手冊規定的技術要求設定老化電源、電流、電壓等具體的老化條件。確保每個被試器件已安全地固定在相應老化板的老化夾具上，并確保老化器件的每個輸入管腿都有圖形脈沖進入。一般，這樣的老化系統也需要經過認可/計量確認。48h/96h應由客戶或程序文件確定。
2.6高溫存儲3.6.1條件
高溫存貯溫度：存貯/工作Tmax±3℃
高溫存貯時間：48h/96h
2.6.2方法
將元器件放在滿足試驗能力要求的高低溫試驗箱中，設置高溫存貯溫度和保持時間，啟動試驗，當溫度到達Tmax后確保保持96h，取出自然降溫。一般，這樣的設備也需要經過認可/計崇確認。48h/96h
應由客戶或程序文件確定。
2.7粗檢漏
2.7.1條件
檢漏液沸點溫度：120℃±5℃
確保被檢器件能承受該溫度，否則不進行粗檢漏。如：民品器件。
確保檢漏液無大于1um粒子，否則過濾后再使用。
2.7.2方法
將被檢器件放入加壓容器，充氮氣達411Kpa保持2h。然后,將恢復常壓的被檢件逐個放入120℃±5℃的檢漏液中，確保被檢件淹沒深度超過5cm.借助放大鏡觀察30s 以上，剔除連續旨泡者。一般，這樣的壓力容器和壓力表也需要經過認可/計量確認。
3、試檢判別依據
3.1測試判別依據
常溫初/終測、高、低溫測試的判別依據是由各微電子器件生產廠商發布的柑應器件于冊所規定的技術指標。在無本手冊的前提下，不同商規定的技術指標可參照執行。測試時，只要存在一項指標不合格，該器件應視為不合格品處置。在這樣的情況下，后序的篩選過程不再執行。除非該器件的不合格程度并不嚴重，同時已通知并經用戶認可，方能繼續進行。
3.2試驗判別依據
3.2.1高溫存儲/高低溫沖擊/動態老化判別依據
這兩項試驗的目的是加速/誘發微電子器件的早期失效。一般存在缺陷的器件在早期失效后不能恢復，由于高低溫沖擊/動態老化設備，無能力對其電氣特性是否發生了變化進行判別，所以對高低溫沖擊/動態老化后的器件的性能判別將在終測時進行。此時只需要對高低溫沖擊/動態老化后的器件進作肉眼觀察，看其外觀物理狀態是否發生了明顯的變化，例如：龜裂、爆炸等等，如果有這類情況，器件應立即剔除，不再參加以后的篩選試驗。
3.2.2粗檢漏判別依據
根據粗檢漏的技術條件和要求，用放大鏡觀察浸入高溫檢漏液的器件，剔除連續詈泡者。
4、記錄和報告
在微電子器件的老化篩選過程中，對本文推薦流程的每個階段都應形成記錄，并出具一個初測報告、低溫測試報告、高溫測試報告、一個完整（包括高低溫沖擊和動態老化和粗檢漏）的試駿報告和一個終測報告。完整的試驗報告也應將所作的全部試驗條件和結果描述消楚。
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